Innovative PVD-Schichten und neuste PVD-Beschichtungstechnik

Moderne Präzisionswerkzeuge und Hochleistungskomponenten müssen für eine optimale Prozesseffizienz stets an ihrer Leistungsgrenze eingesetzt werden. Applikationsangepasste PVD-Hochleistungsbeschichtungen wie die mikrolegierten Schichten spielen hier in zunehmendem Maße eine Schlüsselrolle. Der vorliegende Artikel beleuchtet die erhöhten Anforderungen, stellt mikrolegierte Hochleistungsschichten sowie das zur Herstellung notwendige PVD-Anlagenkonzept vor. Eine neue PVD-Verfahrensvariante, das HIPAC Verfahren, wird vorgestellt und dessen Potenzial zur Beschichtung komplexer Bauteile illustriert.